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 ~量産プロセスに適応した薄膜型熱流センサで実用化に前進~

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2023/08/03
東京大学/日東電工、熱の流出入を高精度に計測可能なフレキシブルセンサを開発(7月24日)
 ~量産プロセスに適応した薄膜型熱流センサで実用化に前進~

・測定体表面の熱の流出入(面直熱流)を高精度に測定可能な薄膜型熱流センサの作製に成功。
・磁気熱電効果を用いた熱流センサの実用化への最大の課題であった測定体の温度ムラによるオフセット信号を素子構造の設計により除去し、実環境で使用可能なセンサを開発。これにより、量産プロセスであるRoll-to-Rollスパッタ法でPET基板上に素子作製が可能となり、熱流センサの低コスト化・フレキシブル化・大面積化が容易になった。
・効率的な熱マネジメントを通した省エネルギー技術への貢献が期待できるほか、内部温度計測などの新たな熱計測技術への展開が望まれる。

 https://www.s.u-tokyo.ac.jp/ja/press/2023/8557/

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